동아합성의 자회사인 쯔루미소다(요코하마시)는 액화 염화 수소를 수송하는 방법으로 용기10통을(총６톤) 일체화 시킨 전용 차량 「튜브 트레일러」를 도입한다. 500Kg 용기 단위로 수송하던 종래 방식에 비해 용기의 탈·부착 횟수가 줄고 불순물의 혼입이 어려워진다는 장점이 있다.  올 가을을 목표로 우선 한국향으로 사용을 시작할 계획으로 운송품질을 향상시킬 수 있으므로 액화 염화 수소의 확대판매에도 좋은 영향을 줄 것이다.
  쯔루미소다의 투자액은 튜브트레일러 전용 충전 설비와 튜브 트레일러를 합쳐 ５억엔으로 우선 쯔루미 공장에 ４대를 도입해 한국의 반도체 웨이퍼메이커에 출하를 시작한다. 향후에는 일본 고객향으로도 도입을 검토한다. 튜브 트레일러 상태로 선박에 실어 한국에 수송, 항구에서 현지 수송 업체가 웨이퍼 메이커까지의 배송을 담당하는 방식으로 운영한다. 중요 고객인 반도체 웨퍼 메이커는 제품의 생산율을 높이기 위해 불순물이 적은 고순도의 액화 염화수소를 필요로 하고 있다.
  튜브 트레일러를 사용하면 불순물의 혼입이 억제되며 또한 대량 수송 시에는 용기의 적하재시간을 줄일 수 있어 수송 코스트의 삭감에 큰 기여를 할 수 있다. 튜브 트레일러의 활용은 일본의 액화 염화수소 메이커로서는 처음으로 미국에서는 천연가스등의 수송하는데 위와 같은 차량이 사용되고 있으며 쯔루미소다도 설비의 설계는 미국의 메이커에 의뢰, 자사의 안전기준에 맞추어 개량했다. 수송차의 가격은 한 대 약2천만엔.

쯔루미소다는 순도가 ９９.９%이상의 고순도 액화 수소를 실리콘 웨이퍼의 표면에 부착된 중금속 분자를 세정, 제거하는 용도로 출하하고 있다. 웨이퍼 등에 구멍을 뚫어 입체적인 동배선을 할 때 구멍에 흘러 들어간 액체의 동이 굳어진 후, 웨이퍼상에 남은 동을 제거하고 웨이퍼의 표면을 평탄하게 하는데 사용한다. 쯔루미소다의 제품은 빠른 연마 속도, 연마 흠집이 작다는 평판으로 판매가 증대하고 있어 설비 증강을 결정했다. 쯔루미소다는 「CMP slurry」라고 불리는 연마 재료로 ２０００년에 동배선향의 제품을 투입, 현재 세계 점유율이 ２５%로 ２위이다.



출처 : 2006. 07.07  일본경제산업신문