액화염화수소 생산능력 2배로 증산

쯔루미소다 ３０억엔 투자

  동아합성의 자회사인 쯔루미소다（요코하마시）는 반도체용 실리콘 웨이퍼의 표면 처리 등에 사용하는 고순도 *액화염화수소의 생산능력을 7월에 2배로 증산한다. 30억엔을 투자하여 동아합성의 토쿠시마공장（토쿠시마시）내에 연간1800t 생산설비를 투입. 휴대전화나 PC전용의 반도체용 출하가 호조로 일본국내 실리콘 웨이퍼 메이커들이 증산하고 있는 것에 대응하기 위함이다.

  토쿠시마의 신 설비는 7월에 시운전을 시작하여 11월에는 상업생산을 개시. 쯔루미 소다의 고순도제품（초고순도제품도 포함）의 생산능력은 연간 1800t 에서 3600t으로 증산 된다.

  쯔루미소다는 지금까지 쯔루미공장（요코하마시）에서만 생산해 왔는데 토쿠시마 공장에서 생산개시를 하는 것은 왕성한 수요에 대응함과 동시에 지진 등에 의해 가동이 중지 될 경우를 대비하여 생산거점을 분산하는 목적도 있다.

신 설비는 가스화 시킨 염산을 압축· 정제하여 액화염화수소를 제조, 순도가 99.9%이상의 고순도 제품을 실리콘웨이퍼의 표면에 부착되어 있는 중금속 분자를 세정하여 제거하는 용도로 출하하고 있다.또한, 99.99％ 이상의 초고순도 제품은 일부 고급 웨이퍼용으로 출하하고 있다.

   쯔루미소다는 1983년 액화염화수소 생산을 시작 하여 일본 국내 메이커로써는 처음으로 순도가 99.999％에 달하는 제품을 제조하는 등 부가가치가 높은 고순도 제품의 생산에 힘을 쓰고 있다. 동아합성의 그룹회사로써 2002년 7월에 동아합성의 자회사가 되어 상장을 폐지했다. 2004년에는 한국에 판매회사를 설립, 한국시장의 판로확장에 주력하고 있다.

*액화염화수소