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고순도액화염소는 전해설비에서 얻어지는 염소가스를 정제하여 순도를 100%에 가까운 99.999%까지 높인 전자재료용 제품입니다. 염소내의 불순물관리는 정류후의 분석에 의해 행해지며 이같은 과정을 통해 얻어진 고순도액화염소는 광섬유제조공정과 LSI등의 에칭에 사용됩니다.
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분자량 : 70.91 |
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비 점 : -34.1℃ (at 1 atm) |
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응고점 : -101.0℃ |
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비 중 : 2.473 (at 20℃) |
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증기밀도 : 2.980 (Air = 1) |
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환원제나 연소성 물질과는 격렬히 반응합니다. |
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희가스 이와의 다수의 원소와 반응합니다. |
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습기를 함유한 염소가스는 일반금속에 접할 경우 강한 부식성을 나타냅니다. |
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순 도 : Cl2  99.999% |
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불순물 : H2  0.1 wt.ppm |
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| N2 + O2 1.0 wt.ppm |
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| CO 0.5 wt.ppm |
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| CO2 2.0 wt.ppm |
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| H2O 2.0 wt.ppm |
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광섬유 제조공정에서 유리원료로부터 OH기 제거 |
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알루미늄 기타 건식(Plazma)에칭 |
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실리콘 산화 |
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2003년도부터 동아합성(주) OEM에 의해 한국시장 판매 개시 |
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50kg 정량 47L 실린더 |
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500kg 정량 440L 실린더 |
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