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반도체 산업을 비롯한 마이크로엘렉트로닉스 시장에서 고압가스와 약품의 고순도화 요구는 날로 높아지고 있습니다. 이러한 가운데 저희 쯔루미소다는 식염전해기업으로서 고객의 까다로운 요청에 부응코자 노력하여 왔습니다. 오랜 기간 쌓아온 노하우와 보유기술의 성과로 지금까지 고순도화 실현이 어려웠던 대표적인 알칼리계약품 : 수산화나트륨(NaOH) 수산화칼륨(KOH)의 고순도제품화에 성공. 안정공급이 가능한 생산라인을 갖추고 평가기술을 확립했습니다. 이 제품들은 반도체제조용 알칼리계 약품으로서 품질개선과 불합격제품의 최소화를 추구하여 효율성 향상에 공헌하는 신기술제품으로 주목받고 있습니다. |
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지금까지의 공업용 NaOH, KOH에 비해 중금속 불순물이 3자리수나 낮은 고순도 |
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단순공정에서 정제 농축하므로 오염될 확률이 지극히 적어 안정된 품질유지 가능 |
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ISO9001인증 획득으로 엄격한 품질관리체제하에서 제조 |
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증기압이 현저히 낮으므로 어떤 농도에서도 사용가능 |
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실리콘웨이퍼의 연마 |
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실리콘웨이퍼의 에칭 |
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CMP 슬러리용 약품 |
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고품질 무기시약의 원료 |
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의약품, 농약의 중간체원료 |
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CLEARCUT-P(KOH)
| 항 목 |
단 위 |
규 격 |
분석례 |
| 농도 |
% |
47.0 이하 |
48.0 |
| 알루미늄(Al) |
ppb |
10 이하 |
3.0 |
| 크롬(Cr) |
ppb |
10 이하 |
0.1 |
| 구리(Cu) |
ppb |
10 이하 |
< 0.2 |
| 철(Fe) |
ppb |
10 이하 |
0.1 |
| 니켈(Ni) |
ppb |
10 이하 |
0.2 |
| 아연(Zn) |
ppb |
10 이하 |
< 0.1 |
| 항 목 |
KOH LNA |
CLEARCUT-P LNA |
| KOH |
48.5±0.5% |
48.0±1.0% |
| 나트륨(Na) |
< 10ppm |
< 10ppm |
| 알루미늄(Al) |
< 50ppb |
< 10ppb |
| 칼슘(Ca) |
< 300ppb |
< 50ppb |
| 카드뮴(Cd) |
< 20ppb |
< 5ppb |
| 코발트(Co) |
< 20ppb |
< 5ppb |
| 크롬(Cr) |
< 50ppb |
< 5ppb |
| 구리(Cu) |
< 20ppb |
< 10ppb |
| 철(Fe) |
< 100ppb |
< 5ppb |
| 마그네슘(Mg) |
< 20ppb |
< 5ppb |
| 망간(Mn) |
< 20ppb |
< 5ppb |
| 니켈(Ni) |
< 20ppb |
< 10ppb |
| 납(Pb) |
< 30ppb |
< 20ppb |
| 아연(Zn) |
< 20ppb |
< 10ppb |
| 파티클(0.5μm>) |
< 100개/ml |
< 100개/ml |
반도체 업계에 판매되어 호평을 얻고 있는 고순도 KOH 수용액(CLEARCUT-P)군에 신제품이 추가 되었습니다. 이번에 소개해 드릴 "고순도 수산화칼륨 수용액(低 Na 제품) CLEARCUT-P LNA는 Fe, Ni와 같은 중금속 성분을 10ppb 이하로 유지한 상태에서 나트륨(Na) 함유량을 기존 제품의 1/10(당사비교)까지 감소시킨 고급 제품입니다.
또한, 코스트 퍼포먼스를 중시하는 고객에게는 "低 Na - 수산화 칼륨 수용액 KOH LNA"를 준비하였습니다. 기존의 수용액에 만족하지 못하신 고객, 보다 엄격한 품질관리를 요구하시는 고객에게 꼭 추천하고 싶은 제품입니다.
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